MEMS传感器是结合硅基微电子技术和微机械加工技术制造的微型机械设备，具有广泛的应用潜力。MEMS传感器通常由MEMS芯片和专用集成电路芯片（ASIC芯片）封装而成，能够将外界信号转化为电信号。常见的MEMS器件包括加速度计、麦克风、压力传感器等，广泛应用于消费电子、汽车、医疗等领域。MEMS压力传感器通过测量压力变化来计算海拔高度，而MEMS加速度传感器则利用加速度感应运动和震动。MEMS陀螺仪则通过科里奥利力原理测量角速度，用于保持设备稳定性。