二氧化碳(CO2)的敏感性将比空气高(大约135%,这可能随着流速的变化而变化)。与CO2类似的气体有氮气(N2O)和二氧化氮(NO2)。
当使用AWM系列感应氢气(H2)或氦气(He)时,可能需要使用增加的供电电压来为质量流量传感器供电:氢气,典型12 Vdc,氦气,典型15 Vdc。
当使用AWM系列传感器与氦气一起使用时,需要增加供电电压。氦气具有非常高的热导率,以至于它会饱和传感器上的加热器控制电路,除非将供电电压增加到15 Vdc。氦气的灵敏度会随之降低到这样一个水平:两升氦气的输出将相当于一千标准立方厘米每分钟(1,000 SCCM)的空气或氮气的质量流量。校正因子将取决于温度和实际流量。
近似气体修正系数表

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