热式流量传感器,AWM系列,AWM43600

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【技术】混合气体流量如何监测？

霍尼韦尔的AWM43600，是一款基础版的热式传感器部件，测量原理基于气体对热量的传递特性来测量流量。
微桥式质量空气流量传感器通过测量从加热电阻器到位于加热器两侧的温度感应电阻器的相对热传递速率来工作。热传递与质量流量成正比。当介质的热性质发生变化时，传感器的灵敏度（即热效率）会受到影响，产生偏差。其中，被测气体的热导率是影响最大的因素。此外，热容量和气体黏度也会产生较小的影响。热容量和气体黏度对于给定的气体是恒定的；然而，如果气体组成发生变化，这些性质也可能改变。幸运的是，空气、氮气和氧气的性质几乎相同

二氧化碳（CO2）的敏感性将比空气高（大约135%，这可能随着流速的变化而变化）。与CO2类似的气体有氮气（N2O）和二氧化氮（NO2）。

当使用AWM系列感应氢气（H2）或氦气（He）时，可能需要使用增加的供电电压来为质量流量传感器供电：氢气，典型12 Vdc，氦气，典型15 Vdc。

当使用AWM系列传感器与氦气一起使用时，需要增加供电电压。氦气具有非常高的热导率，以至于它会饱和传感器上的加热器控制电路，除非将供电电压增加到15 Vdc。氦气的灵敏度会随之降低到这样一个水平：两升氦气的输出将相当于一千标准立方厘米每分钟（1,000 SCCM）的空气或氮气的质量流量。校正因子将取决于温度和实际流量。

近似气体修正系数表