一、引言

在传感器技术领域，压阻效应作为一种独特的物理现象，为压力、应力、加速度等物理量的测量提供了高灵敏度的解决方案。压阻式传感器凭借其卓越的性能，已成为现代工业、航空航天、生物医学等领域不可或缺的感知元件。本文将从压阻效应的微观机制出发，深入探讨压阻式传感器的工作原理、技术特点及工程应用。

二、压阻效应的微观机制

压阻效应是指当半导体材料受到应力作用时，其电阻率发生显著变化的现象。这一现象的物理本质在于应力引起半导体晶格结构的变形，导致能带结构发生变化，进而影响载流子的迁移率和散射概率。具体而言，应力作用下晶格间距的变化会改变禁带宽度，使得载流子从一个能谷向另一个能谷散射，引起载流子迁移率的变化，最终导致电阻率的改变。

压阻效应的强弱通常用压阻系数π来表征，定义为单位应力作用下电阻率的相对变化。压阻效应具有各向异性特征，沿不同方向施加应力和通电流时，电阻率的变化会不同。例如，在室温下测定N型硅时，沿(100)方向加应力并沿此方向通电流的压阻系数π11=102.2×10⁻¹¹ m²/N，而沿(010)方向通电流时，其压阻系数π12=53.7×10⁻¹¹ m²/N。这种各向异性使得压阻式传感器在设计时需要根据具体应用场景选择合适的晶向和电流方向。

三、压阻式传感器的工作原理

压阻式传感器基于压阻效应，通过集成电路工艺在单晶硅基片上扩散等值电阻并构建惠斯通电桥。其核心结构包括单晶硅膜片、扩散电阻、引线和放大电路。当传感器浸入压力介质时，介质压力通过波纹膜片和硅油传递至半导体芯体，导致硅膜片发生弹性形变。由于压阻效应，膜片上的扩散电阻值发生变化，电桥失去平衡并输出与应力成正比的电压信号。

具体而言，压阻式传感器的工作流程如下：

1. 应力传递

   ：介质压力作用于波纹膜片，通过硅油将压力传递至半导体芯体。

2. 电阻变化

   ：硅膜片受压后，扩散电阻的阻值发生变化，电桥失去平衡。

3. 信号放大

   ：电桥输出的微弱电压信号经放大器放大，并通过标准压力标定后，即可用于压力检测。

四、压阻式传感器的技术优势

压阻式传感器凭借其卓越的性能特点，在众多应用领域中发挥着重要作用：

1. 高灵敏度

   ：能够准确感知微小的压力变化，压力分辨率极高，可检测到像血压那样的微压。

2. 体积小巧、易于集成

   ：采用集成电路工艺加工，结构尺寸小、重量轻，可轻松嵌入各种小型设备中。

3. 稳定性好、可靠性高

   ：在几十万次疲劳试验后，性能保持不变，综合精度高且使用寿命长。

4. 动态特性好

   ：响应频率高达10³～10⁵Hz，可测量几十千赫的脉动压力。

5. 温度敏感性

   ：由于采用半导体材料硅制作，传感器对温度比较敏感，如不采用温度补偿，其温度误差较大。