博思发科技公司的 PVC4000 系列真空模块 是新一代高性价比的真空测量解决方案，适合大 批量试用。PVC4000 系列集成了 MEMS 热导率 传感器（皮拉尼传感器）、放大电路和微处理器， 封装在一个超小型的 PCB 板上面。 这一颗传感器元件是基于博思发的第二代 MEMS 热导率芯片设计而成。热导率芯片的工作 原理是：真空度越高，气体的热导率越差，热导 率传感器的热损失越少。 放大电路将传感器芯片的微小信号放大，然 后再微处理器中数字化，然后通过 I2C 通讯将传 感器的测量值对外输出。由于热导率在测量真空 时会受到温度的干扰，所以我们在电路中加入了 温度传感器，微处理器获得了温度数据之后，利 用专门的温度补偿算法，修正了环境温度对传感 器的干扰。 为了防止在热导率芯片自加热时产生信号漂 移，我们在微处理器中加入了中断功能，确保传 感器芯片每次工作（自加热）的时间不超过 100 毫秒。 PVC4000 系列真空模块的输出信号经过标 定。使用者可以通过 I2C 通讯协议，读出经过标 定后的真空值，可以达到 10~20%的精度，普遍 高于行业内其他真空变送器的精度。 为了满足使用者对于不同真空度的使用要求， 我们的 PVC4000 系列模块分为两个型号：未经 过标定的 PVC4001 和经过标定的 PVC4101 （1~760000mTorr）。