多种MEMS传感器及执行器取得了商业化的成功,替代传统器件,得到大规模应用,每年全球出货量数以百亿计,本文我们来看看这些取得巨大成功的MEMS传感器及执行器器件
MEMS IMU的发展早期主要受军工需求推动,后续逐步推广至民用,现已于消费电子、汽车、工业自动化等领域中实现广泛应用。
目前,随着MEMS IMU技术的快速发展和成本下降,MEMS IMU有逐步替代独立的MEMS加速度计和MEMS陀螺仪的趋势。
MEMS压力传感器:带动压力检测向微小化延伸
压力是是各种物理量中,排名第二大的测量值,如前文所述,世界上第一个MEMS传感器为硅微压力传感器,于1962年问世,由霍尼韦尔研发。
目前霍尼韦尔的压力传感器产品覆盖了各种各样的场景,其绝压、表压、真表压、小型压力传感器等各种压力传感器,能在世界上最恶劣的环境下,满足最严苛的测试和测量规格,包括一般的工业过程需求和专用于危险区域的压力传感器。

相比传统的压力传感器,MEMS压力传感器具有无机械疲劳或老化、输出信号稳定、灵敏度高、体积小、适合批量大规模生产(成本优势)等优点,随着移动设备、汽车等发展MEMS压力传感器越来越受到欢迎。
在医疗健康领域,压力传感器被广泛应用于血压计、呼吸机、监护仪等设备中,为医生提供准确的生理参数数据。此外,随着可穿戴设备的兴起,压力传感器也被用于智能手环、智能手表等设备中,实现心率监测、睡眠分析等功能。
MEMS压力传感器的一个显著优点,是其体积可以做到非常小,从而推动了压力传感器在小型化移动设备、医疗等创新领域的应用。
譬如,此前泰科电子推出了业界首创微型侵入式MEMS压力传感器,细如发丝,推动了压力感测在医疗设备领域的应用,今后在诊断导管、治疗导管、一次性窥镜、活检针、消融设备等微创医疗设备上都可以应用该IntraSense系列传感器,医生进行相关微创手术就不需要仅凭借经验进行操作,可以根据准确的压力数值去判断,这将对现有医疗行业的数字化产生巨大变革。
MEMS DLP芯片:巅峰传统投影设备,开拓数字激光投影时代
DLP投影技术是显示领域划时代的革命,就好像CD在音频领域产生的巨大影响一样,DLP为视频投影显示翻开新的一页。
数字微镜装置(DMD,或称为DLP芯片)的发明者——德州仪器 Larry J. Hornbeck博士,荣获2014年美国电影艺术与科学学院奖(即奥斯卡奖)科学技术奖,将百年历史的电影产业转化为数字电影技术所作出的杰出贡献受到表彰!足见MEMS DLP芯片技术对影像产业的重要影响力。
DLP(Digital Light Processing,数字光处理)芯片的核心器件是DMD(Digital Micromirror Device,数字微镜器件),是光学MEMS的重要类别。