1977年，DLP芯片的研发在德州仪器中央研究实验室正式启动。当时，Hornbeck首次利用“可变形反射镜”以模拟技术的方式对光线进行控制，但所应用的模拟技术始终难以达到预期要求。直到1987年他在技术上获得突破，基于MEMS技术发明了DMD（即DLP芯片），这种情况才得以改观。

此后，DLP技术投影仪长期占据超过60%以上市场份额，是市场主流投影技术方案，这一情况直到近两年才有所变化。

DLP芯片即在一块硅基中，使用MEMS技术，批量制造成千上万个“镜子”——微镜，下图是DMA芯片的封装结构示意图，可以点击放大查看。

在一个DLP芯片里面微镜数以百万计，每一面反射镜都可以独立反转运动，正负方向翻转，每秒钟翻转次数高达数万次。下图是DMD芯片每一个微镜翻转，折射光线的过程，每一片微镜都可以单独控制，折射相应的光线，从而形成不同的色彩、明暗，每一个微镜就如同我们电视的每一个像素点。

目前，DLP芯片技术大都为为德州仪器独家专利，据Yole的数据显示，凭借DLP芯片的营收，德州仪器占据全球光学MEMS市场近80%份额。

MEMS喷墨头：三分打印天下，还可以打印DNA结构

在喷墨打印机中，MEMS喷墨打印头是最核心的部件，其作用是挤出墨汁，有的是利用压电薄膜震动来挤压墨水，有的是利用加热气泡变大，将腔体内的墨汁挤出。

有趣的是，以这两种MEMS喷墨技术，形成了打印机两大阵营，以爱普生、Brother为代表的微压电打印技术，和使用热发泡打印技术的惠普、佳能等厂商，互为对手。

目前，喷墨打印机与激光打印机、针式打印机三分天下，是主流的打印技术方案之一。

凭借MEMS喷墨打印头的出货量，惠普、爱普生、佳能等打印机厂商长期进入全球MEMS器件出货量TOP 30名单中。

此外，除了打印文字照片外，在医学生物研究领域，MEMS喷墨技术还被用于DAN阵列的构建，将合成试剂代替传统的墨水，

在DNA合成技术中，喷墨打印合成技术因其高通量、高效率、低成本成为最受关注的焦点，并极大推动了DNA合成的发展，近年来相关专利数量也大幅提升。

结语

MEMS技术是21世纪最具革命性的高新技术之一，从本文中，我们可以看到MEMS麦克风、惯性传感器、压力传感器、DLP芯片、喷墨头等MEMS器件，在各领域的颠覆性应用，MEMS器件的出现大大推动和扩展了传统器件的应用边界。

除文中提到的MEMS传感器和执行器外，MEMS滤波器、MEMS热电堆等也被广泛使用。同时，新的MEMS技术，如MEMS扬声器、MEMS时钟也正展现蓬勃的发展势头，未来有望颠覆相关赛道。