多种MEMS传感器及执行器取得了商业化的成功，替代传统器件，得到大规模应用，每年全球出货量数以百亿计，本文我们来看看这些取得巨大成功的MEMS传感器及执行器器件
1959年美国物理学家Richard Feynman（理查德费曼），在他著名的演讲“底部有足够的空间（There's Plenty of Room at the Bottom）”中，提出了将机器小型化到原子和分子尺度的想法。然而，直到 20 世纪 80 年代和 90 年代，MEMS 技术才开始得到开发和商业化。
1962年，微小器件的先驱——第一个硅微压力传感器问世，开创了MEMS技术的先河，也是MEMS微传感器的起始点。霍尼⻙尔研究中⼼和⻉尔实验室的相关论文显示，他们发明了第⼀个硅隔膜压⼒传感器和应变计。
此后，⼈们对MEMS传感器技术的兴趣急剧增⻓，到 1960 年代后期，许多美国先驱公司已经开始生产第一批MEMS压力传感器。
MEMS技术发展迅速，对现今传感器的普及起到关键作用，如果没有MEMS技术，传感器的微型化、集成化、低功耗等将难以做到，而物联网、智能手机、汽车等发展也将严重滞后。
如今，多种MEMS传感器及执行器取得了商业化的成功，替代传统器件，得到大规模应用，每年全球出货量数以百亿计，本文我们来看看这些取得巨大成功的MEMS传感器及执行器器件。
MEMS麦克风：一经推出就在移动设备上大受欢迎
1961年，著名的贝尔实验室研发出第一款驻极体（ECM）麦克风，利用声音作用在振膜上电容大小的变化，将声音转换为电信号。
之后驻极体麦克风在全国大规模流行了40多年的时间，直到2003年，市场上第一款商用MEMS麦克风产品问世——来自Knowles（楼氏电子）的SiSonic麦克风。
此时，市场上移动手机逐渐普及，并且越做越轻薄，传统的驻极体麦克风无法满足可移动设备对麦克风轻、薄、小的要求，MEMS麦克风的问世获得手机厂商的青睐。
2003年，楼氏电子率先将MEMS麦克风出货给日本京瓷，应用于手机中，同一年，摩托罗拉在其超薄手机RAZR中使用楼氏电子的MEMS麦克风，目前楼氏电子已卖出超百亿颗SiSonic麦克风。
MEMS麦克风在市场上大获成功，基本在市场上——尤其是移动设备市场，全面替代传统的驻极体麦克风，成为市场主流，我们每台手机中，至少都有3颗以上的MEMS麦克风。
据YoleDeveloppement数据统计，2015年开始MEMS麦克风的出货量逐步超过ECM——此时MEMS麦克风商业化仅12年，此后MEMS麦克风出货量连年两位数增长。
据Yole的数据显示，凭借MEMS麦克风的先发优势，楼氏电子长期以来占据全球MEMS麦克风第一厂商宝座，直至2020年被歌尔微超越，歌尔微、瑞声科技、敏芯股份等MEMS麦克风厂商的崛起侧面折射出中国MEMS产业的发展。
